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TOP製品品目OPCのガラス基板の主な用途>Si裏面研削用サポート基板

製品品目

Si裏面研削用サポート基板

主用途
・Siウエハ裏面研削(BG)時の支持基板

硝種
・石英ガラス(高UV透過率!)
・ボロフロートガラス(Siとの熱膨張率高親和性!)
・無アルカリガラス等 各種ガラス対応可能

形状
・【外径】φ6”〜φ12 その他形状もご相談下さい
・【板厚】t0.5〜0.8mm 左記以外も対応可
・SEMIノッチ、オリフラ対応可能

精度
・【板厚】±0.005mm 対応可能
・【TTV】<1μm 対応可能

梱包
・Class100クリーンルーム内での検査梱包 (Si-wf用FOSB使用可能)

オプション
・レーザーマーク対応可能 (IDナンバー、QRコード、他)

【例】板厚ムラ干渉計写真
TTV=0.8μm(@φ12”ウエハ)

 

 

 

 

 

レーザーマーク
(2次元バーコード:QRコード)

 

 

 

 

 

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