株式会社オーピーシー

オハラグループの株式会社オーピーシー
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Si裏面研削用サポート基板

■主用途
・Siウエハ裏面研削（BG）時の支持基板

■硝種
・石英ガラス（高UV透過率！）
・ボロフロートガラス（Siとの熱膨張率高親和性！）
・無アルカリガラス等　各種ガラス対応可能

■形状
・【外径】φ6”～φ12　その他形状もご相談ください
・【板厚】ｔ0.5～0.8mm　左記以外も対応可
・SEMIノッチ、オリフラ対応可能

■精度
・【板厚】±0.005mm　対応可能
・【TTV】＜1μm　対応可能

■梱包
・Class100クリーンルーム内での検査梱包（Si-wf用FOSB使用可能）

■オプション
・レーザーマーク対応可能（IDナンバー、QRコード、他）

【例】板厚ムラ干渉計写真
TTV＝0.8μm（＠φ12”ウエハ）

レーザーマーク
（2次元バーコード：QRコード）